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- 招 標(biāo) 公 告 2020-06-01
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科民 · 應(yīng)用案例
原子層沉積（ALD）設(shè)備等高端半導(dǎo)體設(shè)備、全套半導(dǎo)體線的研發(fā)和生產(chǎn)
熱烈祝賀科民電子20套集成電路設(shè)備成功進(jìn)入廈門大學(xué)產(chǎn)教融合平臺(tái)
科民電子集成電路產(chǎn)教融合成套設(shè)備含曝光機(jī)、雙腔ALD、PVD、ICP刻蝕機(jī)共20臺(tái)
助力北大
北京大學(xué)成功制備性能優(yōu)越的碳納米管CMOS器件。我們提供了關(guān)鍵的HfO2高k柵介質(zhì)低溫制備方案
熱烈祝賀科民電子20套集成電路設(shè)備成功進(jìn)入廈門大學(xué)產(chǎn)教融合平臺(tái)
科民電子集成電路產(chǎn)教融合成套設(shè)備含曝光機(jī)、雙腔ALD、PVD、ICP刻蝕機(jī)共20臺(tái)
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原子層沉積（ALD）設(shè)備等高端半導(dǎo)體設(shè)備、全套半導(dǎo)體線的研發(fā)和生產(chǎn)
刻蝕機(jī)ICP-100
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刻蝕機(jī)RIE-100
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磁控濺射臺(tái)-PVD-100
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雙腔熱型原子層沉積機(jī)TALD-D系列
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365nmLED光源曝光機(jī)
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超大批量生產(chǎn)型原子層沉積系統(tǒng)TALD-1000系列
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走進(jìn)科民
海外微電子設(shè)備制造團(tuán)隊(duì)與 中科院微電子所 8室專家共同成立
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